近日，清楓資本正式完成對國內高端半導體光刻膠領先廠商徐州博康的數千萬元投資交割。

徐州博康成立于2010年3月25日，基于對單體制備工藝的嫻熟掌握，博康對光刻膠制備各個環節逐一攻克，承擔起國家“02專項”中的“ArF光刻膠單體產品的開發與產業化”的子課題，并得到成功驗收。如今公司已實現了“單體——樹脂、光酸——光刻膠”的全國產化、全產業鏈布局，打破了日美企業在高端半導體光刻膠領域的寡頭壟斷格局，在保障國產光刻膠材料產業鏈安全、自主、可控方面取得實質性突破。

目前，徐州博康擁有ArF/KrF光刻膠單體、ArF/KrF光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產品，覆蓋集成電路制造、后段封裝、化合物半導體、分立器件、電子束等市場應用，客戶覆蓋日本、韓國及國內主要集成電路領先制造企業。

公司已研發儲備全球80%的光刻膠單體產品技術，其中KrF光刻膠單體占全球份額超過20%。是國內少有能打通光刻膠上游材料的全產業鏈公司。

在半導體光刻膠領域，公司已研發高端ArF光刻膠26款，其中應用于通孔工藝的ArF濕法光刻膠，已經能夠應用至40nm/28nm工藝節點，是國內第一款國產化的ArF濕法通孔光刻膠；公司已研發高端KrF光刻膠30款，其中主要針對lift-off工藝的金屬剝離負膠，底部倒角可控，是目前國內唯一可提供此類KrF的產品。此外，公司已研發I 線光刻膠 15 款，以及3大種類的電子束光刻膠，現已為數十家企業和高校提供標準化、定制化的電子束光刻膠產品。

徐州博康去年實現歷史性的突破，已有多款半導體光 刻 膠 相 繼 獲 得 了 國 內 12 寸 晶 圓 廠 的 訂 單 ， 包 括 ARF-immersion、ARF- dry、KRF、I- line 等，可應用于 14-90nm制程節點。公司2023 年的重心是實現不同料號產品在主流晶圓廠的全面放量。

清楓資本非常看好徐州博康在光刻膠領域的成就和發展，非常認可管理團隊的理念和企業的戰略規劃，相信徐州博康憑借在光刻膠全產業鏈的自主可控優勢，將引領高端光刻膠國產化浪潮，并為我國半導體產業鏈實質性的自主可控貢獻力量。

在全球性大國多層次科技競爭逐步向產業上游基礎性領域深化的背景下，清楓資本持續看好核心關鍵材料的國產化自主可控進程，關注新能源、半導體、軍工領域的材料科學應用。